パワー半導体工場の薬液輸送を支える耐熱型二重配管の製造手法の確立

公表情報公表資料の事業概要(採択・交付決定の公表資料に記載されたもの)です。 AIによる生成ではありません。 出典: 中小企業庁「事業再構築補助金 採択案件一覧【事業計画書の概要】」(制度の公式ページ。該当資料そのものではありません)詳しく

パワー半導体工場において高温薬液を輸送するため輸入材が原料のテフロンチューブを使う必要があった。これに対し本事業では耐熱塩ビを用いた耐熱型二重配管を開発・製造法の確立を行うことで、配管の高機能化かつサプライチェーンリスクの解消を実現する。